* MJB4의 새로운 등장

반도체 공정의 핵심 과정인 포토리소그라피 분야에 사용되는 SUSS MicroTec 사의 마스크 얼라이너는 그 뛰어난 성능과 품질로 인해 전세계는 물론 국내에서도 많은 사용자들에게 알려져 있다.
SUSS MicroTec 사의 얼라이너 모델 중 매뉴얼 장비인 MJB3는 1969년에 세상에 처음 모습을 드러낸 이후 세계적으로 2000대가 넘는 시스템이 설치되었으며 그 정확성, 안정성, 고성능으로 인해 세계적 명성을 얻고 있다. 1980년도부터 국내에 소개된 MJB3는 국내 반도체 기술의 발전에 적지 않은 기여를 해왔으며 현재에도 명실상부한 최고의 매뉴얼 얼라이너로서 자리매김을 하고 있다. 그 MJB3가 MJB4라는 이름으로 새로이 거듭났다.

SUSS MJB4는 MJB3의 계보를 잇는 차세대 매뉴얼 얼라이너로서 실험실과 소량 생산용 라인에 경제적이고 이상적이며 Contact 노광 모드 시 0.5 마이크론의 선 폭을 내는 등 다른 어떤 장비도 흉내낼 수 없는 성능을 구현한다.
SUSS MJB4는 주로 MEMS, 광전자 응용 분야에 널리 쓰이며 Hybrids나 고주파 부품, 또는 GaAs or InP 등의 깨지기 쉬운 3~5 족 물질들과 같은 비표준 기판을 다룰 수 있도록 특별히 고안되었다.
또한 Singlefield 및 Splitfield 마이크로스코프의 채용으로 정렬 시에 발생할 수 있는 오차나 시간낭비를 줄이면서 빠르고 고도로 정밀한 정렬을 가능하게 해준다.