* MJB4의 성능

1. 새로이 추가된 기능
- All components integrated, "no extra boxes"
    모든 구성요소가 본체 내에 통합
- Exposure optics
    새로운 광학 시스템 채용
- Pneumatics
    새로운 공기역학 시스템
- PLC system
    신뢰성이 뛰어난 PLC 시스템 채용
- Splitfield microscope
    좌우 동시 정렬 가능
- TSA microscope stage
    대면적으로 조망이 가능한 Scope 시스템
- Touch screen operation
    터치스크린을 통한 장비 작동

2. 유지되는 MJB3의 기능들
- Alignment stage concept including WEC design
    SUSS 만의 WEC 디자인 채용으로 마스크와 기판 간에 완벽한 평행 구현
- Lamp house 350W
    350W 램프 하우스 채용
- Compact design
    단순하고 깔끔한 디자인
- M500 single field microscope
    Single field 마이크로스코프 장착 가능
- IR alignment capability
    IR을 이용한 정렬 가능
- Chuck design
    기존의 MBJ3 용 척을 같이 사용할 수 있음
- Mask holder design
    기존의 MJB3용 마스크 홀더를 같이 사용할 수 있음