* MJB4의 노광 System과 Resolution

- 회절 감소 효과의 고 분해능 광학 시스템 채용
- 350W 램프 하우스 적용
- UV400, UV300, UV250의 적용이 가능한 고품질 광학계

UV400 : Hg Short Arc Lamp, 350~450 nm
UV300 : Hg Short Arc Lamp, 280~350 nm
UV250 : HgXe Short Arc Lamp, Deep UV

조도량 (세로)
PR 감도의 Threshold (점선)

경사진 빛의 조사로 인한 회절 감소 효과

Contact Printing Resolution :


분해능에 영향을 주는 요소

- 웨이퍼의 사이즈
- 웨이퍼의 편평도
- PR 타입과 두께
- 크린룸 청정도

(1㎛ Thick Resist, Lines & Spaces)