* System Configuration

- UV300 / 400 Standard
- UV250 Submicron
- 20X 고분해능 대물렌즈를 통한 고정밀 정렬 가능
- 모든 콘택 모드에서 노광 전 정렬 체크 가능
- Light Intensity of : 40mw/cm2 (broadband), 25mw/cm2 (i-line)
- 200W 수은 고압 램프 사용 가능
- 고품질 헤라질 렌즈
- I, g 라인 필터 옵션 추가 가능
- DUV 용 exhaust 시스템 추가 가능

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