* MJB4의 웨이퍼 레벨링 시스템

- X, Y, Θ 방향으로 가능한 정렬 스테이지
- 고정밀, 백레쉬 없는 마이크로미터 스핀들 채용
- 최대 4mm의 기판 사용 가능
- 마스크와 웨이퍼를 보호하기 위한 미세한 힘 조절 가능
- 정밀 평형을 위한 고감도 레벨링
- 클램핑 원리로 인한 변이 요소 제거
- 견고하고 단순한 디자인으로 잔고장 요소 제거 및 용이한 유지보수 가능