* MJB4의 노광 모드

MJB4의 노광 모드는 아래와 같이 크게 Contact과 Gap Printing의 두 가지로 대별할 수 있으며 다시 이 두 모드는 4가지의 세부 모드로 분류되어 사용자의 공정에 맞게 선택되어집니다.

- Contact 및 Vacuum Contact Printing
     : 가시적인 0.5 마이크론 선 폭 구현 가능
- Gap Printing
     : 3.0 마이크론 선 폭 구현 가능

1) Gap Printing : 일정한 갭을 두고 노광 가능
2) Soft Contact : 조정 가능한 물리적 힘이 기판을
    마스 크에 밀착시킴
3) Hard Contact : 기판 하부로부터의 추가적 질소
    압력 작용 (Soft Contact 힘 + 질소압)
4) Vacuum Contact :진공 챔버를 형성하여 그 내부
    에 마스크와 웨이퍼를 압착 시키는 모드