Horiba의 Smart SE 엘립소미터는 빠르고 정밀한 박막 측정을 위한 강력하고 경제적인 분석 장비입니다. 450nm에서 1000nm의 파장을 다양한 모델링 기법을 이용하여 수 초 만에 분석을 완료할 수 있으며 반도체, 태양 전지, 디스플레이, 광학 코팅, 표면 처리 등의 다양한 어플리케이션에 활용되고 있습니다.
• Spectral range: 450-1000 nm • Sample size : Up to 200mm(300mm) • Spot sizes: Down to 75um • Goniometer: Automated angle of incidence from 450 to 900 (50 Step) • In-situ configuration for real-time process monitoring
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