Cee사의 워크스테이션은 Lab 또는 FAB에서 웨이퍼의 통합 공정을 제공합니다. 진공 컨트롤, 클린룸 호환
케비닛을 통한 화학약품의 저장 및 폐기물 관리 및 개방형 작업공간은 스핀코터, 베이크플레이트, 디벨로퍼, 클리닝공정을 스테이션 내에 장착하여 편리하게 이용할 수 있으며, LED Yellow light가 내장되어있어 쉽게 작업할 수 있습니다.
또한 CEE사의 Apogee 모듈 200mm , 300mm 까지의 모든 웨이퍼를 지원하며 사용자의 요구에 맞게 흄 후드(Fume-hood) 나 HEPA-ENPA 공기 여과 필터를 선택할 수 있습니다.
X-Pro II 워크스테이션은 모든 프로세스 모듈과 함께 공장에서 세팅 되어 출고 되기 때문에 고객사에서는 전원만 연결하면 사용할 수 있으며, 필요에 따라 추후에 모듈을 추가하여 확장할 수 있습니다.
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