NXQ4000 시리즈 마스크 얼라이너는 대학 및 시제품 양산 생산에 이상적이며 조각시편부터 최대 200mm 크기의 기판을 지원합니다. NXQ4000 시리즈 반자동 마스크 얼라이너는 혁신적인 디자인과 정밀한 정렬 및 노광 기능을 가지고 있으며 상단 마스크 로딩방식으로 사용하기 쉬운 인터페이스를 갖추고 있습니다. 또한 자동 시퀀싱을 통해 누구나 손쉽고 빠르게 배우고 운용할 수 있기 때문에 여러 명의 사용자가 사용하는 연구실이나 소규모, 다품종 생산라인에 적합합니다. NXQ4000는 높은 신뢰성, 저렴한 비용 및 다양한 확장성으로 광범위한 어플리케이션에 가능하기 때문에 전 세계 제조 시설, R&D센터 및 대학교에 납품되고 있습니다.

주요특징
  - 조각시편부터 200mm(8”)까지 대응가능한 매뉴얼 설비
  - 회절억제 광학계를 사용한 고해상도(sub micro) 노광
  - Soft/Hard/Vacuum contact 및 Proximity 노광기능 제공
  - 매뉴얼 X-Y joystick 및 micrometer(theta)를 이용한 정밀 스테이지 제어
  - 마찰이 없는 Air bearing을 사용하여 높은 신뢰도를 유지, 별도의 정기유지관리(윤활작업 등) 필요 없음
  - 상단 마스크 로딩 방식
  - HD cameara, Video microscope를 사용한 다중 배율, 고해상도 이미징 제공
  - 정밀한 power / intensity 유지 장치사용
  - 고신뢰성, 저 유지비용