NXQ8000 양산형 마스크얼라이너는 NXQ사에서 새롭게 디자인된 최신형 마스크얼라이너로 업계 최고수준의 WTS 조합을 제공합니다.  Milara, Inc.의 차세대 Dual Arm Robot은 경쟁사 대비 두 배 이상의 정확한 초고속 웨이퍼 이송을 제공하며 Logosol의 Pre-alinger를 사용하여 실리콘 뿐만 아니라 투명한 기판을 감지 할 수 있어 광범위한 화합물 반도체 재료에 이상적입니다.
또한 NXQ8000의 얼라이먼트 스테이지는 최신 선형 모션 기술을 활용합니다. 모터의 위치가 아닌  실제 스테이지 위치를 측정하는 엔코더 피드백 루프를 사용하여 비전 시스템이 하드웨어에 의해 제한되지 않기 때문에 3-sigma 0.5um 미만의 정렬 정확도가 가능합니다.

주요특징
  - 조각시편부터 200mm 기판 대응(매뉴얼 로딩) 또는 50mm ~ 200mm 의 로봇 로딩 가능
  - Quadcam Microscope : 한 개의 Objective마다 두 개의 고해상도 CCD 카메라를 이용하여 광각 및 고배율을 포커스 조절없이 전환 가능
  - 손쉬운 사용자 인터페이스
  - 전자기 선형 모터를 사용하여 내구성 및 정밀도 강화
  - Smart Align Technology를 사용한 정밀 자동 얼라인먼트 제공
  - 쉬운 매뉴얼 전환 사용

Options
  - 자동 필터 전환 장치
  - 바코드 리더
  - SECS/GEM
  - BSA / IR alignment
  - Ring illumination and dark field illumination
  - NUV (280-350nm) / MUV (280-450) / DUV (220-280nm) exposure optics
  - Heated Wafer Chuck and Mask Holder
  - Automated mask changing