마스크얼라이너와 오버레이 검사기능을 통합한 설비로 한 설비 내에서 정밀 정렬, 노광, 오버레이 확인이 가능
NXQ8012 마스크얼라이너는 최대 300mm 기판까지 적용 가능한 마스크얼라이너로 노광 및 Overlay inspection을 동시에 수행할 수 있는 최신 설비 입니다. NXQ8012는 최신 선형 모션 기술을 활용한 alignment stage로 모터의 위치가 아닌 실제 스테이지 위치를 측정하는 엔코더 피드백 루프를 사용하여 비전 시스템이 하드웨어에 의해 제한되지 않기 때문에 3-sigma 0.5um 미만의 정렬 정확도를 구현할 수 있습니다.
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