QCL & OPO laser를 사용하여 여러 파장대의 laser를 시료에 주사하고 Visible laser를 이용하여 열팽창을 감지 한다. 이렇게 각 파장대별로 발생되는 열팽창을 감지하여 IR Spectrum을 만들어 준다.

1) Specifications
 - Spectral Range : 800~1,850cm-1 & 2,700~3,600cm-1 / Raman Range : 200 ~ 3,900cm-1
 - Spectral Resolution : 1cm-1
 - Spatial Resolution : 500nm
 - Visible Laser : 532nm 
 - Measurement Time : 0.5~10sec

2) 주요특징
 - Sub Micron Measurement
 - IR & Raman Simultaneous Measurement
 - Non Contact Measurement
 - Wavelength Independent Spatial Resolution & Spectral Resolution

Semiconductor, Reverse Engineering, Polymer, Packaging, Contamination, Bio Material etc.,

500nm 이하의 미소 샘플 분석 가능. IR & Raman 동일 위치 동시에 측정 가능.