MicroProf® FS는 양산형 Fully automated 웨이퍼 계측 설비입니다. Wafer Foundry 또는 MEMS Fab 등에서 광범위한 어플리케이션에 맞게 구성 할 수 있으며 표준화 된 솔루션과 고객 별 개별 솔루션을 제공할 수 있습니다. MicroProf® FS는 이러한 다양성으로 인해 최첨단 파운드리에서 진정한 "All Rounder"로 인정 받고 있습니다.

주요특징
 - multi-sensor technology and hybrid metrology for MEMS and Foundries
 - customizable for a wide range of applications within the Wafer Foundry
 - standardized and customer-specific solutions
 - greatest possible flexibility
 - handling of diverse substrate types
 - powerful software for fully-automated 2D and 3D surface metrology
 - equipment Front End Module (EFEM)