DUV(Deep UV)부터 NIR 까지 넓은 스펙트럼 영역에서의 다층구조 분석(두께, 광학상수, 밴드갭,결정도, 인터페이스 등)이 가능하며 빠르고 정확한 데이터를 제공
Ellipsometer 세계 점유율 1위의 기업 Horiba사의 노하우와 기술이 집약된 박막측정의 최고의 솔루션 “UVISEL2”
UVISEL2는 190nm ~최대 2100nm 의 넓은 파장대역에서 Nano 및 Micro 박막의 특성에 대한 최고 수준의 분석솔루션을 제공합니다.
Horiba의 특허인 Sample vision을 통해 시료의 측정 지점 및 지역의 정확한 위치를 확인 할 수 있으며 작은 샘플 영역의 측정을 위해 세계에서 가장 작은 35um의 spot size를 이용하여 빠르고 정확하게 데이터를 얻을수 있으며, 함께 제공되는 DeltaPsi2 소프트웨어에 의해 현재 범용적으로 사용되는 일반 재료 뿐만 아니라 차세대 재료 및 구조의 특성을 분석하기위해 최적의 모델링과 폭넓은 확장성을 제공합니다.