Ellipsometer 세계 점유율 1위의 기업 Horiba사의 Auto-SE 는 간단한 조작만으로 Sample의 박막을 간편하게 측정하여 Å 에서 µm 수준의 박막 두께, 과학상수, 표면 거칠기, 이방성 등을 빠르고 정확하게 분석 하고 보고 할 수 있습니다.
• Spectral range: 440-850 nm (or 1000nm) • Fully automated: Simple push button operation • Liquid crystal-based modulation • CCD-based for fast spectral acquisition • Micro-spot sizes down to 25㎛ and a vision system • Fixed angle of incidence at 70°
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