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SIMS Workstation

	Hiden
	가스분석분야

A rugged general purpose SIMS

HIDEN사는 Static 과 Dynamic SIMS 방식이 동시 적용 가능한 2차 이온 질량 분석기(SIMS)를 생산합니다.
기존의 RGA, Leak detection과 2차 중성 질량 분석기(SNMS)가 사용되었으며 EQS는 고성능 Triple Filter 사중극자를 사용하였습니다. DC 사중극자 초점렌즈와 섹터필드 측정기를 사용하여 통과 영역 내에서 이온들을 100 전송시킵니다.

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