PCO2-14 모델은 전기가열방식의 공정용 오븐으로 분위기 가스가 제어되는 polyimide coating 공정에서 hard baking 을 하는 공정에서 정밀한 요구한 부합되게 만들어진 장비이다.
ISO class 5/class 100 에 부합되는 clean process oven으로써 pressure relief system, oxygen control system oxygen monitoring system 을 포함하는 많은 독특한 장치를 가지고 있다.
Pressure Relief system
Polyimide hard baking 은 잔류가스를 제거하고 목적으로 하는 표면 특성을 만들어내는 과정이다. 열처리과정에서 발생하는 용액을 제거하는 과정은 용매의 응축을 제거하기 위하여 필요한 과정으로 PCO 2-14 에는 cold trap 장치와 pressure Relief 장치를 설치되어 있다.
Oxygen 모니터링 콘트롤 시스템
PCO2-14 장비는 산소지소를 20 ppm 이하로 유지되도록 디자인 되어져 있는 장비이다. 이것은 polyimide baking 과정중에 산화를 방지하기 위하여 필요하다.
이 장비에는 산소 모니터가 설치되어 있는데 purge valve 와 연결되어 있는 이 Oxygen monitor 는 Nitrogen 지수가 일정치 이상 올라가면 자동으로 purge 를 하여 준다. 이 장치를 이용하여 질소의 사용량을 최소화하고 연속적인 생산 공정을 가능하게 한다.
- ISO class 5 에 적합한 clean process oven
- HEPA 필터의 교체시기를 체크하는 압력 필터
- Protocol plus 디지탈 콘트롤러
- Silicon Free construction
- End of Cycle, hign limit audible and visual alarms
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