4인치 또는 6인치로 제공되는 Exposure/Masking 시스템 UV-KUB2는 광학적 특성이 우수한 UV-LED 광원을 사용하여 쉽고 빠르게 노광공정을 진행 할 수 있으며, 별도의 복잡한 설치과정의 필요없이 간편하게 설치하고 이동할 수 있는 신개념의 노광기 입니다.
주요특징 • UV LED soft lithography system (High quality collimation system) • 4” and 6inch version available • Compatible with any of the most popular photoresists (AZ, Shipley, SU-8, K-CL…)
Performances • Resolution: 1µm • Wavelength: 365nm +/- 5nm • Power density: 35mW/cm² +/- 10% • Substrate warm-up during exposure: < 1°C • Exposure cycle: between 1s and 1h • Number of programmable cycles: 10
Specifications • Dimensions: 260 x 260 x 260mm • Weight: 8,2kg / 18lbs • Colour touchscreen: 5,7 inches • Power supply: 100V/240V - 50Hz/60Hz • Consumption: 180W
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