Laser lithography 시스템인 Dilase250은 다목적 소형 direct writing 설비로 microfluidics, MEMS 또는 optics와 같은 다양한 용도의 리소그래피 application에 사용 할 수 있습니다.
Dilase 250은 수십~ 수백 마이크론의 얇거나 SU-8과 같은 두꺼운 막의 기판에 mask 없이 직접 노광하여 신속한 시제품 제작에 적합한 모델입니다.
Performances • Resolution: 1µm • Wavelength: 365nm +/- 5nm • Power density: 35mW/cm² +/- 10% • Substrate warm-up during exposure: < 1°C • Exposure cycle: between 1s and 1h • Number of programmable cycles: 10
Specifications • Dimensions: 260 x 260 x 260mm • Weight: 8,2kg / 18lbs • Colour touchscreen: 5,7 inches • Power supply: 100V/240V - 50Hz/60Hz • Consumption: 180W