300mm 이상 또는 Roll to Roll 기판을 위한 대형 기판용 1x proximity stepper
NXQ9000시리즈는 업계 최초의 full field 또는 step and repeat 노광을 위한 1x proximity stepper로 Roll to Roll 이나 대형기판에 적용 가능합니다.
+ Step and repeat노광을 통해 1X(1:1노광) 대형 기판 노광시 발생할 수 있는 runout 현상 및 CD변화를 컨트롤 + Proximity 노광 및 contact 노광 선택가능 + Roll to Roll 및 320mm 사각 기판 처리가능 (더 큰 기판도 적용가능)
NXQ9000은 유연 재료 또는 대 면적 패널 또는 기판의 수동 / 자동로드를 위한 Roll to Roll application에 적합합니다. 최대 320mm 사각 기판의 1:1 전체 영역 노광을 수행하거나 레시피에 따라 사분할 alignment 및 step and repeat로 노광 할 수 있으므로 사용자는 특정공정의 요구 사항에 맞게 최적화된 노광 모드를 사용 수 있습니다. (300mm이상의 대형기판 적용가능)
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