MicroProf® TL은 Thermal stage를 통해 sample에 열을 가하여 열적부하에서 샘플의 측면 및 수직 변형을 측정할수 있습니다. MicroProf® 시리즈의 다른 모델과는 달리 "TL" 모델 에는 가열 및 냉각 플레이트가 통합된 Thermal Unit과 CW 에서 제공하는 MicroDAC 2D 변형 센서가 장착되어 있으며, Thermal Unit은 "실제 조건"하에서 샘플 모듈의 상태를 확인 하거나 열 부하 하에서 공정 단계를 시뮬레이션 할 수 있게 합니다.

주요특징
 - optical surface metrology at different sample temperatures
 - programmable temperature control
 - from -80° to 400°C
 - high heating and cooling rate
 - temperature stability: < 1°C
 - fully automated