Micrometer 사이즈의 샘플을 IR 광을 측정하고자 하는 부분에 Focusing하여 분석하는 장치로 주로 미세한 유기물 샘플이나 불량(Defect) 분석에 사용. - 투과, 반사, Automated micro-ATR 모드 지원. - FT-IR Auto Image, Fully Automated FT-IR Microscope. - Autoaperture, Autofocusing, Auto correct, Auto-illumination 등 전 기능 자동화. - Single point 분석 및 Mapping 지원. - Spotlight 400으로 Upgrade 가능.