라이카의 독자적인 Fusion OpticsTM 광학계(좌우비대칭인 광로에서 서로 다른 정보를 입력 고해상도와 깊은 초점심도 실현)를 사용 기존의 실체 현미경으로는 불가능한 상을 실현함과 동시에 고배율에서도 실체 현미경만의 입체감 넘치는 이미지를 구현. 코딩 디자인을 사용 소프트웨어에서 관찰 배율의 정보를 볼 수 있어 조작성의 편리성이 우수
- 응용 범위 : 두께측정, Roughness, 표면분석, 색깔 분석 등 - 샘플 높이 : 150 mm 이상 - Objective : 1.25 ~ 150x(Confocal), 5 ~ 50x (Interferometry) - Optical Resolution : 0.14 um 이하 - Vertical Resolution : 2 nm 이하