Residual Gas Analysers (잔류가스 측정기)는 1X10-11 mbar까지 측정가능한 HALO100부터 dual Faraday/SCEM을 이용하여 1X10-14 mbar까지 측정가능한 HAL-201등 Hiden RGA시리즈는 이온화 소스, 사중극자, 검출기 일체형으로 모든 가스 분석 분야에 적합하며, 각각의 모든 시스템은 표준화가스와 이차 이온화 표준 치수에 맞게 교정된다.
반도체PVD, 이온 주입 장치의 주기적 Leak 검사와 진공상태 검사 또는 MBE 공정상 챔버의 오염도 감시와 실제 Leak 식별등의 모든 적용분야에서 HIden RGA 시리즈는 이러한 요구를 충족시킬 것입니다.
;)
