플라즈마 진단에 적합하도록 설계된 Hiden EQP는 고 전송률의 이온 에너지 필터와 사중극자 질량 분석기로 구성되어있습니다.

스펙트로미터는 양이온, 음이온, 라디칼과 중성자들의 정밀한 분석을 제공하는 질량 스펙트럼, 에너지 스펙트럼 그리고 출현전위 스펙트럼을 측정할 수 있습니다. 시간에 따른 추세를 그래프로 표시할 수 있습니다.

빠른 데이터 출력은 과도 현상과 잔광에 대한 연구가 가능하도록 합니다. 더욱이 EQP는 이온 소스와 하전입자 운동관으로부터 이온 흐름(ion flux)에 대한 분석에 적합합니다.

Hiden Analytical 사의 ESPION은 오늘날 연구분야에서 사용 가능한 가장 진보되고 정밀하며 믿을 수 있는 Langmuir probe입니다.

학술분야의 과학자들과 선진 반도체 장비 제조 업체의 엔지니어로 구성된 최상의 팀에서 개발된 ESPION은 빠르고 믿을 수 있으며 정확한 플라즈마 진단을 원하는 산업체와 대학의 사용자들의 요구를 충족 시키고 있습니다. Plasma Oscillation Probe, 극초단파 측정과 Hiden의 EQP 질량/에너지 분석기를 통한 독립적 평가는 Langmuir probe 측정의 정확성에 대한 최상의 확신을 줍니다.