부식성의 가스가 발생되는 시료에 대한 열처리및 관련 응용분야(Application)에 적합한 전기로()로써 세라믹 Muffle 을 이용하여 발열체(Heating element)를 보호하도록 디자인 되어 있으며 사면에서 가열하는 방식을 채택하여 온도 균일도가 뛰어나다.
1) Tmax. : 1,100°C
2) 사(4)면 가열방식으로 온도 균일도가 뛰어나다.
3) 거의 먼지가 발생하지 않는다. (Ashing 공정에서 요구 부식성가스로 부터 발열체에 대한 보호가 뛰어나다.)
4) 부식성가스등로 부터 발열체를 보호하기위하 세라믹 머플을 이용한 디자인
5) 문(door) 등에 Fiber 내화물등을 이용함으로써 됨 )
■ OPTION 1) 배기구, 팬, 배기구용 촉매 2) 과열방지장치( Over Temperature Protector) - EN60519-2 3) 분위기 가스 연결장치 4) 수동및 자동 가스 공급장치
■ Optional Accessories
1. 가스공급장치 (Shut off valve, Flowmeter, Regulator valve, pipe and ready to connect) 2. 과열 방지 장치 3. 후면에서의 가스연결장치 4. Vent, Vent with fan or catalytic converter
1) Tmax. : 100°C 2) 사(4)면 가열방식으로 온도 균일도가 뛰어나다. 3) 거의 먼지가 발생하지 않는다. (Ashing 공정에서 요구 부식성가스로 부터 발열체에 대한 보호가 뛰어나다.) 4) 부식성가스등로 부터 발열체를 보호하기위하 세라믹 머플을 이용한 디자인 5) 문(door) 등에 Fiber 내화물등을 이용함으로써 됨 ))
■ OPTION 1) 배기구, 팬, 배기구용 촉매 2) 과열방지장치( Over Temperature Protector) - EN60519-2 3) 분위기 가스 연결장치 4) 수동및 자동 가스 공급장치
■ 컨트롤러 (Controller)
■ Optional Accessories
1. 가스공급장치 ( Shut off valve, Flowmeter, Regulator valve, pipe and ready to connect ) 2. 과열 방지 장치 3. 후면에서의 가스연결장치 4. Vent, Vent with fan or catalytic converter