Cee 사의 고정밀 수동형 스핀코터 Apogee 시리즈는 조각 시편부터, 최대 450mm 대형 기판까지 공정이 가능한 모델로 Indirect spindle drive 기술을 통해 저가형 스핀코터 모델에서 발생하는 신뢰성의 문제를 해결하였습니다.
또한 Apogee만의 사용자 친화적 interface를 통해 손쉬운 레시피 관리등이 가능합니다.

업계 최고 수준인 12000rpm, 0.2rpm의 정밀도, 재현성을 가진 Cee의 Apogee 스핀코터는, 다양한 시료에 적합한 고정밀 Chuck과, 공기의 흐름제어를 위한 배기시스템의 제어, 자동 디스펜스, EBR 등을 통해 높은 수준의 코팅 품질을 제공 하고 있습니다.

  - 컴팩트한 디자인 (Bench top, Table top 모델로 제공가능)
  - 7인치 터치스크린
  - 내화학성 HDPE 재질의 bowl (변경가능)
  - 조각 시편 ~ 최대 450mm 대응가능 (Apogee 450모델)
  - Max. rpm : 12000rpm
  - Spin speed resolution : <0.2rpm
  - Spin speed repeatability: <0.2rpm
  - Exhaust flow control
  - 자동 디스펜스 시스템 / EBR(Edge Bead Removal), BSR(Back Side Rinse) (옵션)

Application
  반도체, MEMS, Advanced packaging