SETSYS Evolution TGA는 건조한 HF 와 F2 가스에서도 측정이 가능하도록 개조가 가능하다.
최대 1% 농도의 HF가스를 1000℃까지 투입할 수 있다. 전기로의 알루미늄 파트들은 이러한 가스들과 반응이 일어날 수 있기 떄문에 스테인레스 성분으로 대체되며, 전기로에는 불소 성분에 강한 Kalrez 가스켓을 사용한다. (Fig. 6)
Inconel lining을 가진 K type의 Thermocouple이 사용되어야 하며,
이 타입의 thermocouple은 1300℃까지 산화성 가스에 매우 안정하다.
HF가스의 경우 20℃ 상압에서 응축이 될 수 있으며, 이로 인해 가스흐름라인이 손상될 수 있으므로 HF가스의 응축을 방지하기 위하여 Water jacket의 냉각수는 60℃ 내외의 온수를 흘려주게 된다.
SETSYS 시스템의 상부에 있는 전자저울 부분을 보호하기 위하여 HF 가스보다 가벼운 비활성 Helium가스를 흘려주게 된다. 이 때 HF가스는 전기로의 밑에서 흘려주어 전기로의 윗부분으로 배출하게 한다.
전기로 내에 수분이 남아있으면 HF가스와 반응하여 Hydrofluoric acid를 형성하여 금속파트들을 부식시키게 되며, 특히 전자저울을 손상시킬 수 있으므로 주의해야 한다.
TGA 분석에서 많이 사용되는 가스와 TGA 장비의 주요 부품들에 대한 사용가능 유무 및 온도범위를 아래 테이블에 요약하였다.
특히, 아래 주요 부품들에 대해서 테이블에 정리하였다.
- The crucible (샘플팬)
- The inner tube in the furnace defining the experimental chamber.
(가스보호를 위해 사용되는 전기로 내부 관)
- The suspension to hang the crucible to the balance
(전자저울과 샘플팬을 연결하는 서스펜션)
- The temperature control(T/C) thermocouple
(온도조절을 위한 열센서)
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